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ZD1 Series Z Stage 模塊化精密運動平臺  

定制模塊化精密運動平臺: ZD1模塊化精密運動平臺的運動性能和高精度,確保其可以成功地集成到更大的系統中。卓越的運動控制和高精度: 筱曉光子公司基于高精度機械設計和運動控制相結合的先進整體系統設計,……

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縱向   橫向
產品型號
型號 貨號 操作 名稱
MZ024  E80100006  8-10周    MZ024 模塊化精密運動平臺 (行程100mm 精度-P: 1.0μm)   [PDF] 行程 100mm 精度 -P: 1.0μm -C: 1.5μm 重復定位精度(3σ) -P: 0.3μm -C: 0.6μm 運動分辨率 *1 AA: 10nm DS: 200nm 最大速度 *2 200mm/s 最大加速度 *2 0.5g 水平方向直線度 1.5μm 垂直方向直線度 2μm 偏航角 15μrad 俯仰角 50μrad 裝載質量 *3 10kg  
總覽

定制模塊化精密運動平臺: ZD1模塊化精密運動平臺的運動性能和高精度,確保其可以成功地集成到更大的系統中。

卓越的運動控制和高精度: 筱曉光子公司基于高精度機械設計和運動控制相結合的先進整體系統設計,采用嚴格的檢驗標準,生產出高精度和高性能的高精密運動平臺。


通用參數

產品特點

精巧結構的模塊化精密運動平臺

良好的兼容性、拓展性

高剛性,交叉滾柱導軌

導向精度高,精zhun定位


產品應用

二維激光加工

激光直接成像

光學測量

自動顯微鏡



型號

MZ024

行程

100mm

精度

-P: 1.0μm

-C: 1.5μm

重復定位精度(3σ)

-P: 0.3μm

-C: 0.6μm

運動分辨率 *1

AA: 10nm

DS: 200nm

zui大速度 *2

200mm/s

zui大加速度 *2

0.5g

水平方向直線度

1.5μm

垂直方向直線度

2μm

偏航角

15μrad

俯仰角

50μrad

裝載質量 *3

10kg

*1 針對不同的控制器、驅動器、環境振動和結構的系統設計可實現不同的運動分辨率,歡迎垂詢。

*2 針對不同承載重量、控制器、驅動器的系統設計可實現不同的速度和加速度,歡迎垂詢。

*3 歡迎與筱曉光子公司工程師團隊交流具體裝載質量等參數要求,優化高精密運動平臺設計。


訂購信息

型號示例:

MZ024

型號說明:

系列

行程

光柵尺類型

編碼器輸出

電纜輸出

ZD

100:   100X100

-P:   Invar Based Scale

AA:   Sin/Cos

-CMS: With   CMS Box

 

關于運動控制系統:

1、筱曉光子公司根據精密運動平臺參數和應用要求,提供不同的控制系統方案。 

2、運動臺端口和電機參數兼容常見運動控制卡及驅動器。


 

尺寸圖

 


S

A

H

M

ZD024

100

255

102

150

(單位  mm)






推薦選配件

筱曉光子公司基于完整系統解決方案經驗,想您推薦高質量、高精度的選配件,包括:配重單元、基板、安裝架等,可滿足您更多的應用需求。

選配件

說明

配重單元

彈簧和配重塊

101.png

基板

200X300X13mm,   M4

102.jpg

安裝架

60X35X115mm

 103.png


運動控制套件

Motion Composer套件將用戶友好的界面與開發過程各個方面的工具集成在一起。將實時應用程序代碼部署到帶有集成控制器的智能單軸驅動器上。使用configuration manager的馬達和舞臺是為使團隊快速高效而設計的幾種工具之一。











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