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640B絕對壓力控制器(100 Torr,200 sccm,4 VCR-M,Viton 密封件,Viton 閥塞)  

640B和641B壓力控制器是獨立、緊湊的閉環電子壓力控制系統。每個都包含一個電容式壓力計、常閉比例控制閥和閉環控制電子設備。640B控制絕對壓力;641控制表壓(相對于環境大氣壓的壓力)。兩種傳感器均為B……

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MKS640B  J80010078  8-10周    640B絕對壓力控制器   [PDF] 100 Torr,200 sccm,4 VCR-M,Viton 密封件,Viton 閥塞    價格 : 請聯系客服 庫存:請咨詢客服
總覽

640B和641B壓力控制器是獨立、緊湊的閉環電子壓力控制系統。每個都包含一個電容式壓力計、常閉比例控制閥和閉環控制電子設備。640B控制絕對壓力;641控制表壓(相對于環境大氣壓的壓力)。兩種傳感器均為Baratron?電容式壓力計,滿標度壓力范圍為100 psi至10 Torr。Baratron電容式壓力計——以其讀數精度、穩定性和分辨率的百分比而聞名——在較低的壓力和較寬的動態范圍內提供比應變更精確的測量 儀表傳感器。此外,Baratron電容壓力計沒有硅油填充,這會導致滯后,并會減慢控制器的時間響應。 與標準MFC在電氣上類似,640B/641B僅在200 mA時由±15 VDC供電,允許與標準電源/顯示電子設備一起使用。壓力輸出和輸入控制信號為線性0-5或0-10 VDC。640/641中包含兩個觸發點,帶有LED狀態指示燈,用作簡單的開/關流程限制。 在MKS的zui終測試期間,640/641控制回路調諧參數是針對典型安裝條件預設的,但可針對不同條件和zui佳性能進行現場調整。比例和積分項調整是簡單的旋轉開關,而不是電位計,以使OEM或具有多個控制器的用戶能夠將所有裝置預設為相同的控制回路參數。

通用參數

產品特點

控制器滿標度范圍低至10 Torr,用于低壓過程

提供彈性體和所有金屬密封版本

執行閉環電子壓力控制

與緊湊的3“MFC型封裝外形一致

降低總體系統成本,同時節省寶貴的機架空間

使用經驗證的Baratron?電容式壓力計技術,在廣泛的壓力范圍內獲得精確、可重復的壓力控制/測量


主要優點

一體式Baratron電容壓力計提供準確、可靠和寬范圍

可用于上游或下游控制器應用

控制絕對壓力或表壓

用于過程限制控制的兩個報警觸發點


技術參數

Physical

壓力傳感器類型

640B絕對壓力器

641B集成儀表壓力控制器


?  640B

?  641B

Pressure Ranges (Full Scales)

壓力范圍(滿刻度)

10, 100, 1000 mmHg (Torr); 60, 100 psi

Transducer Overpressure Limit

傳感器過壓限值

45 psia or 2x Full Scale, whichever is greater

Orifice Full Scale Ranges

孔板滿標度范圍

50, 200, 1000,   5000, 10000, 20000, 50000 sccm

 (nominal Full Scale flow rates for N2 with 15 psig on   inlet and atm. on outlet)

Maximum Differential Pressure

(consistent with transducer overpressure limit)

zui大壓差(與傳感器過壓限值一致)

?  150 psi for 50 to 10,000 sccm orifices

?  30 psi for 20,000 and 50,000 sccm orifices

Control Mode

控制模式

Downstream standard; Upstream optional

Performance 表現

Pressure Reading  壓力讀數精度                           

  Accuracy Temp. Coefficients臨時系數


Time Response時間響應


?  ±0.5% of Reading (includes linearity, hysteresis, and repeatability)

?  Zero: ±0.02% of Full Scale/°C

?  Span: ±0.04% of Reading/°C

? <100 msec

Pressure Control 壓力控制裝置                         

       

 Range 范圍

Accuracy 精確

Time Response 時間響應



?  >2 to 100% of Full Scale

?  ±0.2% of Full Scale

? <1.0 sec (excluding system time constant)

Environmental 環境方面

Operating Temperature

0° to 50°C (32° to 122°F)

Storage Temperature

-20° to 80°C (-4° to 176°F)

Electrical與電有關


Power Required

±15 VDC ±5%, 200 mA max.

Input/Output Signals

輸入/輸出信號

0-5 VDC standard; 0-10 VDC optional

Connector連接器

15-pin male type “D”

Cable Length電纜長度

100 ft. (30 m) max.

RFI Sensitivity

RFI靈敏度


SAMA 33.1, 1-abc:<0.2% of Full Scale

Trip Points

Rated Adjustable Hysteresis Indicators

跳閘點

額定可調滯后指示器

?  Two open-collector transistors

?  250 mA @ 30 VDC

?  1 to 100% of Full Scale

?  3% of Full Scale

?  Green LEDs on when actuated

Compliance 合規性

CE

Mechanical

Materials   Exposed to Gas

接觸氣體的材料

        

Standard 標準

Optional可選擇的




?  316L S.S., 316L/VAR S.S., Inconel, Nickel

?  Viton?, Kalrez?, Kel-F?

Leak Integrity 泄漏完整性  

 External外部的

Internal1,2 (through closed valve)

內部1,2(通過關閉的閥門)

? <10-9 scc/sec He

?  Elastomer valve:<10-4 scc/sec He

?  Metal valve:<1% of Full Scale. (N2 @ 1 atm. ?P)

?  Kel-F valve:<0.5% of Full Scale (N2 @ 1 atm. ?P)

Fittings配件

Swagelok? 4 VCR?, 8 VCR, or 1/4” Swagelok, Surface Mount

Dimensions尺寸

1.5'' (38.1   mm) x 4.88'' (124 mm) (4 VCR) x   5.50'' (140 mm) max.

Weight

2.54 lbs. (1.15 kg)


注意:

1 640/641控制閥不應用于強制關閉。如果需要強制關閉,應安裝單獨的閥門。選擇外部切斷閥的位置時,應考慮內部傳感器的zui大壓力額定值,以及隨著時間的推移,通過內部閥的泄漏可能會積聚并導致氣體突然激增的可能性。640系列控制器需要流量才能運行,在“死區”(零流量)應用中無法控制壓力。

2當設備控制其出口壓力時,“通過關閉閥”的泄漏規范適用,這是標準的竣工配置。如果設備配置為控制其入口壓力,泄漏率將更高。請咨詢應用工程部,以確定是否需要特殊設置和測試。







尺寸圖-注:除非另有規定,否則尺寸為標稱值,單位為英寸(參考mm)。


















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